Cassification
FS4001-200-CV-A气体质量流量传感器基本信息:
一、基本信息
FS4001-200-CV-A气体质量流量传感器属于FS4001系列气体质量流量传感器。该系列传感器为各类小流量气体的测量和过程控制而设计,适用于各类清洁、干燥气体,采用特定的流量传感芯片制作,封装技术使其可用于各类管径,具有成本低、易安装、不需要温度压力补偿等优点,可替代容积式或压差式的传统流量传感器。
二、产品特性
灵敏度方面
传感器灵敏度高,有极小的始动流量3。
计量方式
传感器芯片采用热质量流量计量,无需温度压力补偿,保证了传感器的高精度计量3。
传感器集成
在单个芯片上实现了多传感器集成,使其量程比达到了100:1甚至更高3。
安装特性
贴壁式安装,无直管段要求,易于安装与使用3。
输出方式
输出方式灵活,既可通过通讯接口主动上传数据(RS232)或由上位机查询输出数据(RS232/I2C),也可通过模拟接口输出线性的模拟电压3。
稳定性相关
零点稳定度高,全量程具有高稳定性、高精确度和优良的重复性3。
零点输出飘移为±30mV,输出飘移为±0.12%/°C4。
功耗与压损
低功耗、低压损,大流量压损350 - 300pa(不同条件下)。
三、性能参数
流量范围:200sccm(标准立方厘米每分钟),量程范围还可能包括0 - 30,50,500,1000,或根据客户需求定制sccm3。
精度:±(1.5±0.2FS) ±0.25 3。
工作电源:8 - 18Vdc,50mA3。
工作温度:- 10 - +55°C,存储温度为 - 20 - +65°C,工作湿度为95%RH(无结冰、无凝露)4。
机械接口:可拆式软管接头,校准方式为空气(或其他气体),20°C,101.325kPa,重量约15g4。
响应时间:4,8,16,33,65,131mses(不同条件下)4。
四、应用领域
该传感器可用于广泛的应用范围,如仪器(如气相色谱质谱法)、泄漏检测、过程控制、气体流量计量以及医疗应用等1。并且在电信、电力、石化、环保、造纸、冶金、食品、医疗、暖通空调等领域拥有广泛的应用前景2。